1.0Arbeitsgemeinschaft der Universitätsverlagehttps://universitaetsverlage.euXMLRPChttps://universitaetsverlage.eu/author/xmlrpc/rich600338<blockquote class="wp-embedded-content"><a href="https://universitaetsverlage.eu/bucher-e-books/titel/%c2%b5femos-mikro-fertigungstechniken-fuer-hybride-mikrooptische-sensoren/">µFEMOS – Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren</a></blockquote> <script type='text/javascript'> <!--//--><![CDATA[//><!-- /*! This file is auto-generated */ !function(d,l){"use strict";var e=!1,o=!1;if(l.querySelector)if(d.addEventListener)e=!0;if(d.wp=d.wp||{},!d.wp.receiveEmbedMessage)if(d.wp.receiveEmbedMessage=function(e){var t=e.data;if(t)if(t.secret||t.message||t.value)if(!/[^a-zA-Z0-9]/.test(t.secret)){var r,a,i,s,n,o=l.querySelectorAll('iframe[data-secret="'+t.secret+'"]'),c=l.querySelectorAll('blockquote[data-secret="'+t.secret+'"]');for(r=0;r<c.length;r++)c[r].style.display="none";for(r=0;r<o.length;r++)if(a=o[r],e.source===a.contentWindow){if(a.removeAttribute("style"),"height"===t.message){if(1e3<(i=parseInt(t.value,10)))i=1e3;else if(~~i<200)i=200;a.height=i}if("link"===t.message)if(s=l.createElement("a"),n=l.createElement("a"),s.href=a.getAttribute("src"),n.href=t.value,n.host===s.host)if(l.activeElement===a)d.top.location.href=t.value}}},e)d.addEventListener("message",d.wp.receiveEmbedMessage,!1),l.addEventListener("DOMContentLoaded",t,!1),d.addEventListener("load",t,!1);function t(){if(!o){o=!0;var e,t,r,a,i=-1!==navigator.appVersion.indexOf("MSIE 10"),s=!!navigator.userAgent.match(/Trident.*rv:11\./),n=l.querySelectorAll("iframe.wp-embedded-content");for(t=0;t<n.length;t++){if(!(r=n[t]).getAttribute("data-secret"))a=Math.random().toString(36).substr(2,10),r.src+="#?secret="+a,r.setAttribute("data-secret",a);if(i||s)(e=r.cloneNode(!0)).removeAttribute("security"),r.parentNode.replaceChild(e,r)}}}}(window,document); //--><!]]> </script><iframe sandbox="allow-scripts" security="restricted" src="https://universitaetsverlage.eu/bucher-e-books/titel/%c2%b5femos-mikro-fertigungstechniken-fuer-hybride-mikrooptische-sensoren/embed/" width="600" height="338" title="„µFEMOS – Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren“ — Arbeitsgemeinschaft der Universitätsverlage" frameborder="0" marginwidth="0" marginheight="0" scrolling="no" class="wp-embedded-content"></iframe>https://universitaetsverlage.eu/wp-content/uploads/asolmerce/image-9783937300955.jpg452636Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.