Mauno Schelb
Integrierte Sensoren mit photonischen Kristallen auf Polymerbasis
Reihe: Hrsg.: Institut für MikrostrukturtechnikZiel dieser Arbeit war die Entwicklung integriert optischer Polymersensoren. Dazu wurden, auch durch Massenfertigungstechnologien, verschiedene Integrationskonzepte umgesetzt. Ein Schwerpunkt lag auf der Integration photonischer Kristallschichten mit Kanälen in Teflon und Polymethylmethacrylat. Zudem wurde die Geometrieoptimierung photonischer Kristallschichtkavitäten diskutiert. Hier wurde ein genetischer Algorithmus entwickelt, der eine bisher unbekannte Kavitätengeometrie liefert.