Julian Hartbaum
Magnetisches Nanoaktorsystem
Reihe: Hrsg.: Institut für MikrostrukturtechnikZiel dieser Arbeit ist die Entwicklung eines metallischen Nanoaktors, dessen mechanisches Verhalten über magnetische Felder gesteuert werden kann. Mit Hilfe der in der Mikrotechnik etablierten Technologien werden Titan-Nanobiegebalken realisiert, dessen Vorderenden mit einem magnetischen Element funktionalisiert sind. Prozessablauf und Charakterisierungsmethoden werden ausführlich beschrieben und liefern wertvolle Erkenntnisse für den Betrieb solcher Nanoaktoren in zukünftigen Nanosystemen.